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书接上回~~
利用提拉法制造的硅棒可以决定晶圆的尺寸。
要大晶圆就拉粗点,短点,要小晶圆就拉细点长点……(好像有点不太对的感觉……是什么?!!)
硅棒直径和提拉速度可以利用溶液、硅棒与辐射热量三者之间的热平衡进行估算。
举个栗子,12英寸的晶圆硅棒有1.5米长,就需要拉8小时。
之后就是将硅棒切成硅片,送晶圆厂造芯片。
有人会说,你这硅片和晶圆变来变去的到底是什么意思啊,一会说晶圆一会儿说硅片,这不是同一个东西吗?!
其实硅片、晶圆还有芯片三者的关系可以说是爷爷、父亲和儿子的祖孙关系。
硅片就是光秃秃的晶圆,需要经过一系列光刻、外延、刻蚀等加工变成含有数百枚芯片的晶圆,之后再进行切割封装就变成了一枚枚芯片。
用形象点的比喻就是硅片是烤肉架上的烤肉,滋滋冒油~晶圆就是撒上了孜然、辣椒粉、和盐等各种佐料的烤肉,香味扑鼻忍不住口水哗哗流。
芯片就是烤好的肉被大师傅片出来一片装盒……
(饿了的请举手!?(ˊ?? ? ??ˋ)忽然想去吃烤肉…… )
从硅棒到硅片,最少要经过十个步骤。
第一、截断。硅棒要掐头去尾,因为制作工艺的原因,硅头硅尾是不规则形状。这部分如果质量好就会被制成晶体条,用来拉出新的硅棒。算是实现了硅棒生产的无限套娃~~~
之后是探查棒身电阻率,检查轴向的杂质浓度是否异常,之后再截成三十厘米左右的硅段。
第二、滚磨。就是把硅段打磨。
因为硅的硬度很强,高达9.5,是仅次于天然金刚石和天然莫氏硬度更高的陨石。打磨工具就是用金刚石制造。
其次,提拉法制造的硅棒不是完美的圆柱体,所以我们想要得到标准尺寸也必须打磨。
硅段和金刚轮剧烈摩擦会大量发热,所以需要持续加水降温。之后还要在硅段上磨出定位边,确保光刻机对晶圆进行光刻时候精准对位。
第三、切片。打磨好的硅段就要切片,变成硅片。一般使用内圆切割机。
就像带有环形刀片的狗头铡(来人啊,狗头铡伺候!!)
优点是切割面平整,效率稳定,缺点是效率低,耗损多。因为一次只能切一片……
还有一种方法是使用金刚砂线切割机,优点是切割效率高,损耗低。缺点是切割面不平整,需要花更多时间打磨。
第四、打磨。正面打磨,背面做磨砂处理,为之后的工序做充分准备。
第五、倒角。用倒角机把打磨好的硅片直角磨成圆弧形。因为硅是一种脆度很高的材料,这样做是为了避免硅片边缘发生崩裂风险。
同时为后面涂抹光刻胶做准备,因为光刻胶是用旋转方式涂抹在硅片上的,如果硅片是直角,光刻胶就会因为离心力淤积在硅片边缘处,造成厚度不均,从而影响光刻。
还有在做外延生长时候,沉积物也会优先堆积在直角边,影响沉积效果,而圆弧状的角可以消除边缘沉积现象。
第六、精磨。做好倒角后给硅片再做一次打磨去掉一些厚度,让硅片更加光滑。
第七、刻蚀。使用化学溶剂对硅片进行化学刻蚀(氢硝酸和氢氟酸)腐蚀掉表面20-50微米的厚度,祛除之前打磨过程中,硅片累积的机械损伤以及混入硅片表面的磨料。
到此,经过一系列操作的硅片表面已经很光滑了,但用来制造芯片还是不够光滑。
光刻的图像尺寸和精度都是纳米级别,所以要求硅片的表面就是一个完美的平面,一点点起伏层次都会影响光刻效果。
第八、化学机械抛光。为了达到制造芯片用晶圆那变态极致的平滑,使用物理和化学结合的抛光手段。具体做法就不说了,只简单举个栗子。
在12英寸的硅片上,光滑面达到的效果就如同你在电影院里看到那种ImAx屏幕影布上只有一根头发丝粗细的起伏。
(来啦!来啦!!吐槽又来啦!!不知道手搓党造出世界最先进的0.2、0.1纳米级别的芯片时候用的是什么技术?!很多小说的主人公可都是孤儿哇,没爹没娘的,哪儿来的钱搞这些东西。有渠道的话……氢硝酸和氢氟酸可都是剧毒物质啊!没有完美的防护措施,要用手来做吗?)
第九、湿法清洗。抛光后的硅片会放入去离子水中清洗,去掉硅片表面残留的各种化学溶剂、尘埃、杂质等。
这些杂质颗粒物会影响芯片的制造流程,造成器件的短路或开路。
第十、检测、包装。经过平整度、清洁度、翘曲度、氧含量、金属残余量、电镜检测、光学散射等等的一系列检测之后,硅片会被装入充满氮气的密封盒子里送到晶圆厂开始新的旅程。
以上就是硅棒变身硅片的全部过程,充满了惊险刺激。
因为全程都不能在普通的环境下完成。
光是单一的某一个设备就不是普通人能够承载起来的。
因为工艺那趋于变态的极致复杂性,没有超强的经济基础和各种渠道,是根本无法依靠个人制造出来的。
因为每一道工序就需要一种设备。
每一套设备又会有搭配使用的化学药剂。
每一种药剂又需要不同的储存条件,没有相对的条件,手搓芯根本就是天方夜谭。
除非你说,咱不造硅芯片。咱造生物芯片、造金属的、造陶瓷不锈钢的……
……
光是这些工艺技术的难点布一楠就写了整整几十篇。
她也越发怀念AI智脑了,只要自己起个头,一些注意事项都能帮她补充好,不像现在需要她自己想破脑袋。
“指挥官,到吃晚饭时间了……”
凌澈端着一份看起来色香味俱全的营养餐进来。
布一楠看着那些食物露出苦笑。
这套餐营养是真的,可也超级没有味道。
她也没有一点胃口,随便喝了两口汤就算是吃饱了。
凌澈有些担心的说道:“这是赵医生和后厨研究了好几天才做出的膳食,您如果不吃我怕一会儿赵医生找我拼命!”
“好吧,我……”
布一楠刚端起碗,忽然桌上一台黑色电话响起急促的铃声。
布一楠赶忙拿起电话接听。
“一楠,又出大事了!米国监测到一波陨石正在靠近地球,其中有三颗陨石因为地球引力吸引正在不断加速,有百分之八十的几率坠落在地球上!其中一颗是冲着我们龙华国来的!”